【特長】
小さいサイズながらも、大きな排気速度です。
装置組込みに適したコンパクトサイズです。
マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。
吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。
電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。
強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。
大気圧からの作動が可能です。

【用途】
理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
真空乾燥器、凍結乾燥器。
リークディテクタ。

【仕様】
排気速度(L/min)50/60Hz：30/36
到達圧力(Pa)：0.67
吸気口径：KF-16
電源(V)：単相100-120
騒音値(dB)：-
サーマルプロテクタ付：○
使用油：R－2
全幅×全長×全高(mm)：120×288.5×163

2段排気方式
CEマーキング自己宣言品
TUU、CTUVUS認証取得品
一台から異電圧に別作対応

【ご注意】
真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
排気口からの油煙（オイルミスト）が大気圧付近では特に発生します。
排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。